[发明专利]具有双向SCR结构的ESD保护器件及双向SCR结构在审

专利信息
申请号: 202011339356.X 申请日: 2020-11-25
公开(公告)号: CN112530935A 公开(公告)日: 2021-03-19
发明(设计)人: 刘天奇;杨广文;甘霖;柳嘉 申请(专利权)人: 清华大学
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 黄玉霞
地址: 10008*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种具有双向SCR结构的ESD保护器件及双向SCR结构,具有双向SCR结构的ESD保护器件包括:P型衬底;第一N阱,第一N阱内设有第一N+注入区和第一P+注入区;P阱,P阱内设有第二P+注入区,第二P+注入区的宽度为D用于调整双向SCR结构的维持电压;以及第二N阱,第二N阱内设有第二N+注入区和第三P+注入区;其中,第一N阱、P阱和第二N阱均设在P型衬底内部,第一N阱与第二N阱紧邻P阱,且第一N阱与第二N阱以P阱的中轴线呈轴对称分布。根据本发明的具有双向SCR结构的ESD保护器件,可以使电路的IO端口承受负电压,ESD保护器件的保护能力提升且版图面积小,结构紧凑;同时双向SCR结构去除了一般单向SCR结构需要反向并联二极管的需求。
搜索关键词: 具有 双向 scr 结构 esd 保护 器件
【主权项】:
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