[发明专利]具有改进的透射率的近红外光学干涉滤波器在审
| 申请号: | 202011335561.9 | 申请日: | 2016-02-18 |
| 公开(公告)号: | CN112285817A | 公开(公告)日: | 2021-01-29 |
| 发明(设计)人: | 罗伯特·斯普瑞格;白胜元 | 申请(专利权)人: | 美题隆公司 |
| 主分类号: | G02B5/28 | 分类号: | G02B5/28;C23C14/34;C23C14/14;C23C14/10;C23C14/06 |
| 代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 关越 |
| 地址: | 美国俄亥俄州梅菲*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: |
干涉滤波器包括层堆叠,其包括多个层,所述多个层至少有:具有添加的氮的非晶氢化硅层(a‑Si:H,N)以及一个或多个介电材料层,例如SiO |
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| 搜索关键词: | 具有 改进 透射率 红外 光学 干涉 滤波器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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