[发明专利]一种半导体测试设备

摘要

本发明公开了一种半导体测试设备，其结构包括支撑台、调节板、置放台柱、抑移装置、支架板、稳固架、显示镜。有益效果：本发明利用设有的调触机构，在抑偏件以及对螺杆的调整配合下，以实现根据晶圆直径大小而进行不同的限位固定，从而可有效的避免出现，在晶圆在进行检测时，因探针与其表面的瞬时接触力，而出现偏差力或是导致晶圆表面出现划痕，导致测试出的数据不准确，本发明利用设有的抑尘组与纳框的配合，有利于在设备对于晶圆进行夹持定位时，防止外界的粉尘落入至其接触面的缝隙内，或是附在晶圆侧边面，并导致该位置因覆盖而出现热能聚集现象，同时产生轻微的磁干扰，以影响到晶圆整体的电阻检测。