[发明专利]一种高能量密度的钛酸锶钡基介电薄膜电容器及其制备方法在审
| 申请号： | 202011333923.0 | 申请日： | 2020-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN112582173A | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 娄晓杰;朱孝培 | 申请（专利权）人： | 西安潜龙环保科技有限公司 |
| 主分类号： | H01G4/12 | 分类号： | H01G4/12;H01G4/008;H01G4/33 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市高新区唐延南路*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及介电薄膜储能领域，具体公开的一种高储能密度的无铅钛酸锶钡基介电薄膜电容器，按照介电电容器的结构组成依次分为：薄膜沉积用衬底材料，厚度为20‑60nm的氧化物底电极过渡层材料，不同Ba/Sr比的BaxSr1‑xTiO3作为介电薄膜材料以及20nm左右的上电极铂金材料(Pt)。本发明所采用的介电薄膜材料为环境友好型无铅BaxSr1‑xTiO3基材料，制备的钛酸锶钡基介电薄膜电容器储能密度高，击穿强度大，具有优异的温度稳定性和耐疲劳特性，原材料价格低廉易得，有利于大规模商业应用。本发明还公开了上述无铅钛酸锶钡基介电薄膜电容器的制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高能量 密度 钛酸锶钡基介电 薄膜 电容器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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