[发明专利]一种直接产生稳定的多光束脉冲紫外激光的装置和方法有效

专利信息
申请号: 202011324733.2 申请日: 2020-11-24
公开(公告)号: CN112421355B 公开(公告)日: 2021-11-19
发明(设计)人: 卢华东;魏娇;苏静;彭堃墀 申请(专利权)人: 山西大学
主分类号: H01S3/00 分类号: H01S3/00;H01S3/109
代理公司: 太原晋科知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14110 代理人: 王军
地址: 030006 山*** 国省代码: 山西;14
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摘要: 发明提供了一种直接产生稳定的多光束脉冲紫外激光的装置和方法,该装置包括泵浦源、泵浦耦合系统、增益晶体、Q开关、光学谐振腔、倍频耦合透镜、倍频晶体、整形透镜、微透镜阵列A、和频晶体、分光镜、微透镜阵列B。由于微透镜阵列的分束作用,和频晶体单位面积所承受的紫外光功率密度显著降低,减轻了晶体的紫外诱导损伤,提高了输出紫外激光的功率稳定性,延长了紫外激光的使用寿命。该方法装置简单、操作方便、产生的激光稳定性高,在激光材料加工领域具有较高的实用价值。
搜索关键词: 一种 直接 产生 稳定 光束 脉冲 紫外 激光 装置 方法
【主权项】:
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