[发明专利]硅微米柱阵列三电极电离式微系统雾霾传感器及制备方法

摘要

本发明公开了一种硅微米柱阵列三电极电离式微系统微系统雾霾传感器及制备方法，包括三个自下而上依次分布的第一、第二和第三电极，第一电极由内表面制备有硅微米柱阵列的硅基底以及设有小通孔的阴极构成；第二电极由设有小引出孔的引出极构成；第三电极由内表面设有深槽的收集极构成；三个电极分别通过绝缘支柱相互隔离。该传感器通过检测输出电流，检测雾霾颗粒物浓度。收集极电流大，灵敏度高，量程宽，分辨率高，能够响应多种粒径的颗粒物浓度。超声波清灰效率高，非接触式运行，不会损伤传感器。