[发明专利]一种膜片飞秒激光刻痕方法在审
| 申请号： | 202011301861.5 | 申请日： | 2020-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN112496561A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 李明;江浩 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | B23K26/364 | 分类号： | B23K26/364;B23K26/402 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 郑丽红 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种膜片飞秒激光刻痕方法，解决现有膜片的刻痕深度均匀性不好，导致膜片可靠性较差、容易引起误爆的问题。该方法包括：步骤一、设置飞秒激光器的参数，设置扫描振镜的扫描速度；步骤二、将刻痕槽的横截面等分为n层，得到n个刻痕图形；步骤三、将步骤二获取的n个刻痕图形导入扫描振镜的控制系统中；步骤四、装夹膜片；步骤五、开启飞秒激光器，扫描振镜依次扫描步骤三导入的n个刻痕图形，并进行扫描加工；步骤六、直至导入的n个刻痕图形加工完成，从而完成膜片刻痕槽的加工。该方法提升了膜片刻痕槽深的均匀性和膜片阀工作性能的可靠性，进而提升了膜片阀的破裂压力以及流量的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 膜片 激光 刻痕 方法 | ||
【主权项】：
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