[发明专利]一种甲醇环境耐蚀耐磨导电六硼化镧复合碳薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 202011294438.7 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN112195452B | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 张斌;赖振国;张俊彦;贾倩;高凯雄 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/16;C23C14/06 |
| 代理公司： | 兰州智和专利代理事务所(普通合伙) 62201 | 代理人： | 张英荷 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： |
本发明提供一种甲醇环境耐蚀耐磨导电六硼化镧复合碳薄膜，是采用多靶磁控溅射沉积系统，在基体表面依次沉积Cr层、CrN层、CrC层、CrC |
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| 搜索关键词： | 一种 甲醇 环境 耐磨 导电 六硼化镧 复合 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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