[发明专利]外差一维光栅位移测量装置有效
| 申请号： | 202011287160.0 | 申请日： | 2020-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN112504131B | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 吉日嘎兰图;尹云飞;李文昊;刘兆武;刘林;白宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 高一明;郭婷 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明提供一种外差一维光栅位移测量装置，采用上下对称的结构分布，消除测量装置在光程上所引入影响；利用双频激光器发出的两束正交的线偏振光，其中频率为f |
||
| 搜索关键词： | 外差 光栅 位移 测量 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，未经中国科学院长春光学精密机械与物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011287160.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
