[发明专利]电路组件、信号检测方法和半导体工艺设备在审
| 申请号： | 202011286708.X | 申请日： | 2020-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN112468118A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 华跃平;韦刚;卫晶 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H03K3/02 | 分类号： | H03K3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电路组件，用于检测半导体工艺设备中下电极上的脉冲调制信号，电路组件包括射频信号检波电路，射频信号检波电路用于将脉冲调制信号转化为调制前的脉冲信号，并检测脉冲信号得到检测脉冲信号，电路组件还包括检波结果处理电路组，检波结果处理电路组能够将检测脉冲信号每个周期内的信号幅值调整为检测脉冲信号在对应周期内出现的最高幅值对应的表征幅值。在本发明中，检波结果处理电路组能够将检测脉冲信号转换为与脉冲信号峰值实时对应的直流信号，从而能够实时、准确地检测工艺腔室中的反应参数。本发明还提供一种信号检测方法和一种半导体工艺设备。 | ||
| 搜索关键词： | 电路 组件 信号 检测 方法 半导体 工艺设备 | ||
【主权项】：
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