[发明专利]一种薄膜体声波谐振器及其制造方法和滤波器在审
| 申请号： | 202011280289.9 | 申请日： | 2020-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN112332793A | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 李伟;黄河;罗海龙 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司上海分公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 张立君 |
| 地址： | 201210 上海市浦东新区中国（上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜体声波谐振器及其制造方法和滤波器，其中，薄膜体声波谐振器包括：第一衬底，第一衬底的上表面设有第一空腔；压电叠层结构，设置于第一衬底的上表面，覆盖第一空腔，压电叠层结构从下至上包括依次层叠的第二电极、压电层和第一电极；沟槽，包括第一沟槽和/或第二沟槽，第一沟槽贯穿第一电极，并延伸至压电层中或贯穿压电层，第二沟槽贯穿第二电极并延伸至压电层中或贯穿压电层；加固层，设置于沟槽的底部位置的第一电极或第二电极的至少一侧。本发明在沟槽的底部设置加固层，加固层能够加固沟槽区域的电极，防止薄膜状的电极破损。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 声波 谐振器 及其 制造 方法 滤波器 | ||
【主权项】：
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