[发明专利]一种等离子体处理装置在审
| 申请号： | 202011278984.1 | 申请日： | 2020-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN112259436A | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 邱勇;张鹏兵;陈世名 | 申请（专利权）人： | 上海谙邦半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201306 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种等离子体处理装置，包括：反应腔主体，所述反应腔主体的顶部设置有等离子体通道板组件；所述等离子体通道板组件包括：等离子体通道板；位于等离子体通道板侧部的定位件，所述定位件的弹性模量小于所述等离子体通道板的弹性模量；位于所述等离子体通道板上方的等离子体发生单元。所述等离子体处理装置能够避免等离子体通道板在高温条件下损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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