[发明专利]一种位置检测传感器、晶圆盒位置检测装置及方法有效
| 申请号： | 202011269843.3 | 申请日： | 2020-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN112378354B | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 华小伟;王超 | 申请（专利权）人： | 广州粤芯半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/00 | 分类号： | G01B21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 510000 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种位置检测传感器、晶圆盒位置检测装置及方法，所述传感器包括触发部和发射部；所述触发部包括相连的第一端部和第二端部，所述第一端部能够相对于所述第二端部上下移动；所述装置包括承载台、定位销、控制器和如上所述的位置检测传感器；所述方法包括：将位置检测传感器安装于承载台上；根据待检测晶圆盒的高度调节所述位置检测传感器的触发部的高度；将所述待检测晶圆盒放置于所述承载台的承载台上；接收所述位置检测传感器发送的所述晶圆盒所处的位置是否正确的信号；根据所述信号判断所述晶圆盒所处的位置是否正确。本发明的位置检测传感器的高度可调整，从而能够适用于不同类型的晶圆盒。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 位置 检测 传感器 晶圆盒 装置 方法 | ||
【主权项】：
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