[发明专利]一种阴极磁过滤真空镀膜设备

摘要

本发明涉及真空镀膜设备技术领域，尤其是一种阴极磁过滤真空镀膜设备，包括安装机台，安装机台底端设有阴极磁过滤系统，阴极磁过滤系统内设有真空腔体、阴极磁控系统、蒸镀系统、电源系统和真空泵组、加热器以及加热管转架组件，阴极磁过滤系统是由弯管、导流线圈、阴极靶、引弧针以及等离子体档板构成，弯管内部有数百个特殊的ф3‑5mm凹坑结构，弯管内部设有多个内部倒钩结构，等离子档板边缘区域存在多个呈圆周阵列分布的螺丝孔；通过设置凹坑结构，弯管内部的凹坑结构在溅射过程中，其既能有效防止大颗粒物质的反射，又能让沉积在弯管内部的膜层有个内部倒钩结构，一定程度可降低生产过程中膜层掉落的概率。