[发明专利]一种集成电路用单晶硅片边缘倒角装置在审
| 申请号： | 202011267457.0 | 申请日： | 2020-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN112372431A | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 黄旭华;李忱钢;王志;封懿恒;陆成军 | 申请（专利权）人： | 衡阳磬华电子技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/06 | 分类号： | B24B9/06;B24B41/06;B24B41/02;B24B41/00;B24B47/12;B24B47/22;B24B55/12;B24B55/06;B28D5/02;B28D7/04;B28D7/02;F16F15/08;F21V33/00 |
| 代理公司： | 北京汇彩知识产权代理有限公司 11563 | 代理人： | 王敬波 |
| 地址： | 421000 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成电路用单晶硅片边缘倒角装置，包括基座，所述基座的顶部外壁通过螺钉固定有支撑柱，且支撑柱的顶部外壁设置有放置板，所述放置板的顶部外壁设置有橡胶板，所述基座顶部外壁的两侧通过螺钉固定有同一个龙门架，且龙门架的顶部内壁通过螺钉固定有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆活塞杆的一端通过螺钉固定有集尘箱，且集尘箱的两侧内壁均通过螺钉固定有吸尘泵，所述吸尘泵的输入端套接有吸尘管。本发明收集盘能够收集倒角过程中下落的灰尘，吸尘泵能够将倒角过程中飞扬的灰尘进行吸附，起到良好的自动固定倒角效果，倒角的过程中还能进行除尘，显著提高了倒角的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成电路 单晶硅 边缘 倒角 装置 | ||
【主权项】：
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