[发明专利]大口径凸非球面光学元件的面形精度检测装置及检测方法在审
| 申请号： | 202011261854.7 | 申请日： | 2020-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN112461156A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 王孝坤;蔡志华;张学军;胡海翔;罗霄 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/02 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 高一明;郭婷 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种大口径凸非球面光学元件的面形精度检测装置及检测方法，其中的方法包括如下：S1、选择球面标准镜，设计Hindle‑Shell补偿器；S2、将Hindle‑Shell补偿器放在球面标准镜与球面反射镜之间，调节球面反射镜与Hindle‑Shell补偿器的位置，直至干涉仪的干涉条纹为零条纹，记录为第一检测结果，第一检测结果包括Hindle‑Shell补偿器的系统误差；S3、将球面反射镜替换为被测光学元件，并调节被测光学元件的位置，直至干涉仪的干涉条纹最稀疏或为零条纹，记录为第二检测结果，第二检测结果包括被测光学元件的面形信息和Hindle‑Shell补偿器的系统误差；S4、将第二检测结果与第一检测结果相减，获得被测光学元件的面形信息。本发明能够有效降低检测过程中误差的传递和积累，提高检测精度和检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 口径 球面 光学 元件 精度 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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