[发明专利]一种霍尔离子源及其放电系统在审
| 申请号： | 202011254208.8 | 申请日： | 2020-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN112366126A | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | 赵杰;许丽;唐德礼;朱剑豪;阮庆东;全刚;李建;郑才国;黄勇;张帆;李平川 | 申请（专利权）人： | 成都理工大学工程技术学院;核工业西南物理研究院;四川三束等离子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J27/14 | 分类号： | H01J27/14 |
| 代理公司： | 成都市集智汇华知识产权代理事务所(普通合伙) 51237 | 代理人： | 冷洁 |
| 地址： | 614000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于管壁处理装置技术领域，公开一种霍尔离子源，包括装置本体；所述装置本体为绝缘材料制成且为圆形结构，其外侧设有槽口；所述装置本体的两侧面分别设有第一磁极和第二磁极；所述装置本体的中部设有相互对称且贯穿装置本体和两个磁极的第一永磁体和第二永磁体。本发明能够在360°方向上引出均匀的离子束流，且具有较低的自溅射和较高的工质电离率。本发明还公开了一种具有上述霍尔离子源的放电系统，使得该霍尔离子源能够以不同的工作模式来应对不同的工况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 霍尔 离子源 及其 放电 系统 | ||
【主权项】：
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