[发明专利]一种化学机械抛光垫的抛光层及其制备方法有效
| 申请号： | 202011232817.3 | 申请日： | 2020-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN112318363B | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 罗建勋;方璞;杨洗;孙烨;王凯 | 申请（专利权）人： | 万华化学集团电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/24 | 分类号： | B24B37/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 264006 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于化学机械抛光垫抛光层及其制备方法，其通过包含异氰酸酯预聚物、固化剂以及功能填料原料制备得到，预聚物是由二异氰酸酯和聚四氢呋喃多元醇分两步反应得到，固化剂组分是胺类交联剂，功能填料是已膨胀聚合物空心微球。由其制备的抛光层具有弹性模量随温度变化稳定、孔隙率高(微孔体积分数高)以及密度均匀的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 抛光 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于万华化学集团电子材料有限公司，未经万华化学集团电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011232817.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种废弃轨道拆除设备
- 下一篇：质子交换膜燃料电池
