[发明专利]一种柔性器件及其制备方法有效
| 申请号： | 202011225486.0 | 申请日： | 2020-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN112382666B | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 常永伟;董业民 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所(普通合伙) 31233 | 代理人： | 魏峯;黄志达 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种柔性器件及其制备方法，主要结构由上至下包括：基底层(1)、粘结层(2)、隔离区(3)、保护层(4)，及其包围的器件区，所述器件区包括源区和漏区(5)、体区(6)、栅介质层(7)、栅电极(8)、互连层(9)、第一连接电极(10)、第二连接电极(11)。本发明通过设置基底层和保护层对柔性器件形成保护，对其进行应力缓冲，能够防止外界的沾污、冲击等对器件功能层造成损伤，提高了柔性器件的可靠性和柔性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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