[发明专利]立式热处理设备及其炉体装卸方法和转运装置有效
| 申请号： | 202011215558.3 | 申请日： | 2020-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN112414107B | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 刘红丽;杨帅 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F27B1/10 | 分类号： | F27B1/10;F27B1/12 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 施敬勃 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种立式热处理设备及其炉体装卸方法和转运装置，所公开的立式热处理设备包括壳体和炉体，所述壳体具有内腔和第一承载板，所述第一承载板设置于所述内腔，并将所述内腔沿高度方向从上到下依次分隔为炉体腔室和装卸腔室，所述第一承载板设置有避让口，所述避让口连通所述炉体腔室和所述装卸腔室；所述炉体具有炉口，所述炉体设置于所述内腔中的工作位置，并与所述第一承载板可拆卸连接，在所述工作位置时，所述炉体通过所述避让口部分伸入所述炉体腔室，且所述炉口位于所述装卸腔室。上述方案能够解决目前的立式热处理设备难以提升单炉晶片的处理量的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 立式 热处理 设备 及其 装卸 方法 转运 装置 | ||
【主权项】：
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