[发明专利]一种用于传感器的中远红外滤光片及制备方法有效
| 申请号： | 202011204009.6 | 申请日： | 2020-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN112162343B | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 刘敏;刘辉;章旭;吴临红;徐锋;路富亮;叶永洋 | 申请（专利权）人： | 江西水晶光电有限公司;江西晶创科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G01J5/0802 |
| 代理公司： | 鹰潭市智埠专利代理事务所(普通合伙) 36131 | 代理人： | 周少华 |
| 地址： | 335000 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于传感器的中远红外滤光片及其制备方法，包括基板、第一膜堆和第二膜堆，所述第一膜堆沉积在基板上表面，所述第二膜堆沉积在基板下表面，膜系设计结构为G|0.5HL0.5H|^L Air；其中G为双抛片单晶硅基板，H表示为一个λ/4光学厚度的高折射率材料层,L表示为一个λ/4光学厚度的低折射率材料层，“^”可以为奇数或偶数，Air为空气，所述膜系设计结构通过相互交替叠合的高折射率材料层H为Ge和低折射率材料层为ZnS镀制而成，本发明通过以单晶硅为基板进行双面镀膜堆，对波长0.4μm‑5μm范围内的红外光进行截止，5.5μm‑14μm波段范围内红外进行透过的Longpass Filters。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 传感器 红外 滤光 制备 方法 | ||
【主权项】：
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