[发明专利]一种晶圆级二维材料的洁净转移方法有效
| 申请号： | 202011194354.6 | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN112265985B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 张永娜;姜浩;黄德萍;李占成;史浩飞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院;重庆大学 |
| 主分类号： | C01B32/194 | 分类号： | C01B32/194;C01B21/064;C01G39/06;C01B19/04 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 赵荣之 |
| 地址： | 400714 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶圆级二维材料的洁净转移方法，属于二维材料应用技术领域。本发明公开了一种晶圆级二维材料的洁净转移方法，主要是通过将不同分子量的聚甲基丙烯酸甲酯混合形成聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)溶液，从而提高在二维材料表面旋涂后形成的PMMA支撑层的韧性以及厚度，以解决晶圆级二维材料在转移过程中存在的力学支撑问题，避免转移破损；同时本发明还通过紫外光辐照降解的方法，使PMMA厚膜降解减薄，最终结合溶剂溶解去除PMMA薄膜，实现晶圆级二维材料的洁净转移。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆级 二维 材料 洁净 转移 方法 | ||
【主权项】：
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