[发明专利]一种原位批量制备高质量石墨烯的方法及其产品在审

专利信息
申请号: 202011194328.3 申请日: 2020-10-30
公开(公告)号: CN112265984A 公开(公告)日: 2021-01-26
发明(设计)人: 张永娜;李占成;黄德萍;姜浩;史浩飞 申请(专利权)人: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院;重庆大学
主分类号: C01B32/186 分类号: C01B32/186
代理公司: 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 代理人: 赵荣之
地址: 400714 *** 国省代码: 重庆;50
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摘要: 发明涉及一种原位批量制备高质量石墨烯的方法及其产品,属于石墨烯制备技术领域。本发明将多片铜箔竖直放置后,在各片基片之间放入自制的石英杆,从而组成多个限域通道结构(由于在高温条件下对基片内部表面的金属蒸发后能够再沉积到表面,从而在这些限域通道结构内,能够显著降低基片表面的粗糙度),将其在CVD管式炉中进行高温退火处理后通入碳源气体生长形成高质量的石墨烯。由于平整的表面不利于石墨烯的成核,因此本发明对生长基底的预处理极大地降低了基片表面石墨烯的成核密度,为高质量石墨烯的生长创造了条件,并且能够进行批量处理。
搜索关键词: 一种 原位 批量 制备 质量 石墨 方法 及其 产品
【主权项】:
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