[发明专利]一种基于干涉仪的智能自动调节零位测量的装置及方法在审
| 申请号： | 202011188862.3 | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN112304242A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 赵彦;吴永前;肖向海;刘锋伟;陈小君 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01M11/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 杨学明 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于干涉仪的智能自动调节零位测量的装置及方法。本发明干涉仪通用测量模式，被测镜放置在六自由度位移调整台上，调整被测镜的位置，通过干涉仪面型测量得到的zernike系数反演出六自由度位移调整台调整量，完全消除x、y方向上的倾斜，z方向的离焦误差。基于干涉仪的智能自动调节零位测量的装置与方法，实现智能自动调节零位测量。本发明中的装置具有调整灵敏性好，测量精度高的优势；该方法具有算法计算速度快，归零高效简洁的优势。适用于平面镜、球面镜面型检测、干涉仪系统的绝对标定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 干涉仪 智能 自动 调节 零位 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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