[发明专利]兰姆波谐振器及其制造方法在审

专利信息
申请号: 202011180019.0 申请日: 2020-10-29
公开(公告)号: CN112332797A 公开(公告)日: 2021-02-05
发明(设计)人: 李红浪;许欣;其他发明人请求不公开姓名 申请(专利权)人: 广东广纳芯科技有限公司
主分类号: H03H9/145 分类号: H03H9/145;H03H3/02;H03H9/02
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 殷明
地址: 510700 广东省广州*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明的兰姆波谐振器包括:衬底;压电层,层叠在衬底上,压电层的第一主面与兰姆波的传播方向平行;以及叉指电极,具有多个设置在压电层的第一主面上的电极指,多个电极指在压电层的第一主面上延伸的方向与兰姆波的传播方向垂直,在压电层的第一主面上,在相邻的每2个电极指间开设有沿电极指的延伸方向排列的多个槽,隔着电极指相邻的槽相互对齐,槽沿兰姆波的传播方向上的尺寸即槽的宽度与将槽夹在中间的相邻的2个电极指之间的间距相同,槽沿电极指的延伸方向上的尺寸即槽的长度与兰姆波的波长之比r1在0.4至0.6的范围内,槽在压电层的厚度方向上的尺寸即槽的深度与压电层的厚度之比r2在0.4至0.6的范围内。
搜索关键词: 兰姆波 谐振器 及其 制造 方法
【主权项】:
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