[发明专利]一种基于隧道磁阻效应的高灵敏微位移检测装置有效
| 申请号： | 202011173646.1 | 申请日： | 2020-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN112344840B | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 金丽;易进;张瑞;辛晨光;李孟委 | 申请（专利权）人： | 中北大学南通智能光机电研究院 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02;G01B7/30;G01R33/09;G01R33/00 |
| 代理公司： | 太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14119 | 代理人： | 杨凯;连慧敏 |
| 地址： | 226000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于位移检测技术领域，具体涉及一种基于隧道磁阻效应的高灵敏微位移检测装置，包括下层基板部分、上层基板部分，所述上层基板部分设置在下层基板部分的上方，所述下层基板部分与上层基板部分相互平行，所述所述下层基板部分与上层基板部分之间无接触；所述下层基板部分包括下层基座、回折蛇形线圈，所述回折蛇形线圈固定在下层基座上。本发明提出的微位移检测装置，采用了隧道磁阻效应检测位移变化，同时通过合理的空间布局产生两路幅值、频率相同，相位相差90°的信号，并引入了细分电路对信号进行处理。具有检测灵敏度高、抗干扰能力强等优点。本发明用于微位移的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 隧道 磁阻 效应 灵敏 位移 检测 装置 | ||
【主权项】：
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