[发明专利]显微镜和用于确定显微镜中的像差的方法在审
| 申请号： | 202011170868.8 | 申请日： | 2020-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN112748562A | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 克里斯蒂安·舒曼;亚历山大·韦斯;安德烈亚斯·洛特 | 申请（专利权）人： | 莱卡微系统CMS有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B21/24 | 分类号： | G02B21/24 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋融冰 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 显微镜包括被配置为对包括盖玻片的样品进行成像的光学成像系统、显微镜驱动、位置敏感检测器、光学测量系统和控制单元，所述光学成像系统包括可调校正装置，显微镜驱动被配置为沿光学成像系统的光轴调节盖玻片和光学成像系统之间的距离。光学测量系统被配置为形成第一和第二测量光束，将测量光束以相对于光学成像系统的光轴的不同距离引导到光学成像系统的入射光瞳中，接收由测量光束在盖玻片的表面上的部分反射通过光学成像系统产生的第一和第二反射光束，以及将第一和第二反射光束引导到位置敏感检测器上。控制单元被配置为记录第一和第二反射光束在位置敏感检测器上的位置，并且基于所记录的第一和第二反射光束的位置确定像差。 | ||
| 搜索关键词： | 显微镜 用于 确定 中的 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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