[发明专利]一种光学元件表面与亚表面缺陷的分类提取方法有效
| 申请号: | 202011156457.3 | 申请日: | 2020-10-26 |
| 公开(公告)号: | CN112581424B | 公开(公告)日: | 2022-04-26 |
| 发明(设计)人: | 刘东;孙焕宇;王狮凌;胡晓波;黄梦辉;卢岸 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
| 主分类号: | G06T7/00 | 分类号: | G06T7/00;G06T7/13;G06T7/33;G06V10/28;G06V10/44;G06V10/764;G06K9/62;G01N21/47;G01N21/64;G01N21/88;G01N21/95 |
| 代理公司: | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人: | 彭剑;胡红娟 |
| 地址: | 310013 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种光学元件表面与亚表面缺陷的分类提取方法,针对光学元件同一成像区域的荧光和散射图像,首先选取特征点计算仿射变换矩阵,通过重采样和插值实现两幅图像空间位置的配准;然后提取两幅图像中缺陷区域的轮廓特征,根据荧光图像和散射图像中的缺陷在空间中重叠情况,标记不同缺陷的类型;最终分别输出延伸型亚表面缺陷、隐藏型亚表面缺陷和表面缺陷图像。本发明提供的方法可实现同时对不同类型缺陷的分类和提取,分别获得表征不同类型缺陷的图像;通过图像空间配准操作保证荧光和散射图像的成像区域一致,降低了硬件装调难度,极大提高了缺陷分类和提取的准确性。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 光学 元件 表面 缺陷 分类 提取 方法 | ||
【主权项】:
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