[发明专利]基于超表面光学天线的红外太赫兹信号探测器及制备方法

摘要

本发明公开了一种基于超表面光学天线的红外太赫兹信号探测器及制备方法，探测器包括：衬底、掺杂层、二氧化硅层、超表面光学天线层、欧姆电极、肖特基电极和普通电极；超表面光学天线层宽度为0.5～10mm，并且包括分别用于探测红外信号的第一金属层和探测太赫兹信号的第二金属层，由于第一金属层和第二金属层分别对入射的红外信号和太赫兹信号波段电磁信号具有极强的局域表面等离激元感应能力，一旦与对应的信号产生局域表面等离激元振荡，其响应速度属于超高速响应，能够在极短时间内产生极强的响应信号，使得探测器能够更好地分辨红外太赫兹波段的电磁信号。此外，由于超表面光学天线的制作采用纳米工艺，使得红外太赫兹信号探测器体积很小、重量很轻。