[发明专利]基于陶瓷共烧工艺技术的分压型氧气传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202011152138.5 | 申请日： | 2020-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN112255296B | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 刘洋;于海超;刘玺;朱晓明;程振乾;文吉延;秦浩;海涛;周明军 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十九研究所 |
| 主分类号： | G01N27/41 | 分类号： | G01N27/41;G01N27/409;C04B35/48;C04B41/88 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 岳泉清 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 基于陶瓷共烧工艺技术的分压型氧气传感器及其制备方法，涉及传感器结构设计及制造技术领域。本发明的目的是要解决传统分压型氧传感器存在抗力学和温度冲击差、寿命短，采用玻璃封接釉封接泵池和浓差池围成密闭腔室时存在涂敷工艺难度大的问题。方法：将泵池和浓差池叠放在一起形成一个密闭的空气腔室，采用丝网印刷技术在空气腔室内印刷挥发层浆料并使挥发层浆料充满空气腔室，通过等静压技术由上至下进行预压，得到预制件；采用划片技术将预制件进行切割分离，得到若干个传感器，通过烧结技术将传感器烧结成型。本发明可获得基于陶瓷共烧工艺技术的分压型氧气传感器及其制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 陶瓷 工艺技术 分压型 氧气 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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