[发明专利]一种基于RCWA的偏振体光栅衍射光线追迹仿真系统及方法有效
| 申请号： | 202011145007.4 | 申请日： | 2020-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN112099228B | 公开（公告）日： | 2023-02-21 |
| 发明（设计）人： | 张宇宁;刘皓天 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00;G06F30/20 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 朱小兵 |
| 地址： | 210096 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于RCWA的偏振体光栅（PVG）衍射光线追迹仿真系统及方法。本发明利用RCWA分析理论，将各向异性周期性光栅结构展开为傅里叶级数，利用边界条件求解出入射光线的衍射特性，然后结合蒙特卡罗方法对光线追迹算法进行优化，提高了仿真精度和运算速度。该模型能够快速计算给定参数下光栅的衍射特性，包括衍射级次、传播方向、衍射效率、偏振态分析，具有很好的移植性，通过动态链接库（DLL）能够应用于商用光学仿真软件ZEMAX，实现光线追迹仿真。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 rcwa 偏振 光栅 衍射 光线 仿真 系统 方法 | ||
【主权项】：
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