[发明专利]一种具有声子晶体反射器的声表面波谐振器在审
| 申请号： | 202011132535.6 | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN112491379A | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 鲍景富;龚柯源;吴兆辉 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H03H3/08 | 分类号： | H03H3/08;H03H9/25 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 甘茂 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于射频微机电系统技术领域，具体提供一种具有声子晶体反射器的声表面波谐振器，用以著提高谐振器的品质因数。本发明包括：基底1，设置于基底上的压电层2，设置于压电层2上的输入电极3、输出电极4、地电极6，以及声子晶体反射器5；输入电极3与输出电极4共同构成叉指换能器，声子晶体反射器5由对称设置于叉指换能器两侧的两个声子晶体阵列构成，地电极6围绕叉指换能器及声子晶体反射器的设置。本发明采用声子晶体反射器以取代传统的电极反射器，能够有效提升谐振器品质因数；同时，与传统的电极反射器设计相比，声子晶体反射器具有较宽的声学带隙，能够抑制整个带隙频率范围内的声波传播，从而对声能损耗的抑制更有效。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有声 晶体 反射 表面波 谐振器 | ||
【主权项】：
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