[发明专利]一种用于SiC晶片减薄的陶瓷金刚石砂轮及其制造方法

摘要

本发明提出一种用于SiC晶片减薄的陶瓷金刚石砂轮及其制造方法。陶瓷金刚石刀头由陶瓷结合剂、金刚石磨料、填料组成，其制造方法为凝胶注模‑发泡法，具体流程为将有机单体溶液与各原料通过球磨混合成均匀的浆料，再加入分散剂、引发剂和发泡剂，经过脱模、干燥、排胶、焙烧、表面处理得到高气孔率的陶瓷金刚石刀头。然后将刀头和铝基体进行粘接、固化、修整、检测，制备出多孔陶瓷结合剂金刚石砂轮。该方法较传统砂轮工艺简单、步骤少，其制得的砂轮组织均匀、气孔分布均匀、孔径均匀，气孔率高，因此该砂轮自锐性非常好，磨屑排出及时，砂轮锋利度好，且加工工件表面质量好、加工效率高且研磨过程中无需修整。