[发明专利]芯片微小模拟信号测试方法和测试装置在审
| 申请号： | 202011095943.9 | 申请日： | 2020-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN112305406A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 谢晋春;辛吉升 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请涉及半导体的晶圆级测试领域，具体涉及一种芯片微小模拟信号测试方法和测试装置。其中方法包括：获取目标微小模拟信号；通过特定时间间隔，对所述目标微小模拟信号进行采样，获取若干采样点，每个采样点对应有采样值；根据采样点的采样值，判断所述采样点是否为干扰信号点；剔除为干扰信号点的采样点，将剩余采样点的采样值进行平均，获取所述目标微小模拟信号的去噪信号均值；确定可信度检测区间；若所述去噪信号均值位于所述可信度检测区间内，确定所述去噪信号均值为所述目标微小模拟信号的信号值；其中装置用于执行上述方法。本申请提供的芯片微小模拟信号测试方法和测试装置，能够实现对芯片的模拟微小信号进行稳定准确地测试。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 微小 模拟 信号 测试 方法 装置 | ||
【主权项】：
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