[发明专利]一种高热传导的新型等离子源在审
| 申请号： | 202011092823.3 | 申请日： | 2020-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN112176299A | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 徐鸣;唐欢欢;安建昊 | 申请（专利权）人： | 江苏微凯机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H01J37/08 |
| 代理公司： | 扬州邗诚专利代理事务所(普通合伙) 32469 | 代理人： | 吴淑芳 |
| 地址： | 225000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种高热传导的新型等离子源，包括等离子源本体，等离子源本体中安装设有阳极，阳极上部设有金属块，金属块和阳极之间安装有导热绝缘陶瓷片，导热绝缘陶瓷片沿周边缘延伸有凸起部。本发明在金属块和阳极之间安装有导热绝缘陶瓷片，该陶瓷片具有导热绝缘的作用，可将金属块上的高热量高效的传递给阳极，避免金属块上的电子大量的积聚，进而避免了金属块的放电，使得等离子源可正常的工作，延长了等离子源的使用寿命，同时提高了金属块和阳极安装的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高热 传导 新型 离子源 | ||
【主权项】：
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