[发明专利]一种基于金属-介质-金属波导的微米片马达系统在审
| 申请号： | 202011087860.5 | 申请日： | 2020-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN112202368A | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 刘翡琼 |
| 主分类号： | H02N11/00 | 分类号： | H02N11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710119 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于金属‑介质‑金属波导的微米片马达系统，包括基底、第一贵金属层、二氧化硅层、第二贵金属层、微米片，第一贵金属层置于基底层上，二氧化硅层置于第一贵金属层上，第二贵金属层置于二氧化硅层上，第一贵金属层、二氧化硅层、第二贵金属层构成金属‑介质‑金属波导，微米片置于金属‑介质‑金属波导一端，微米片固定在第二贵金属层的侧面，微米片的下表面与二氧化硅层的上表面平齐。应用时，将脉冲激光耦合进入金属‑介质‑金属波导，驱动微米片振动。本发明具有耦合效率高的优点，在微纳机械、光能机械能转化领域具有良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 金属 介质 波导 微米 马达 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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