[发明专利]一种太阳能单晶PERC电池及其制备方法

摘要

本发明提供了一种太阳能单晶PERC电池及其制备方法，所述太阳能单晶PERC电池，包括设有氧化铝膜的单晶硅片，以及位于所述氧化铝膜上的背面膜结构；所述背面膜结构包括位于所述氧化铝膜上的氮氧化硅膜以及位于所述氮氧化硅膜上的氮化硅结构。本发明将背面膜由单一氮化硅调整为氮氧化硅和氮化硅的组合，既增加了减反射膜的作用，又能提升钝化效果，同时通过多层不同膜厚、不同折射率的氮化硅的排布叠加，可以降低氮化硅间的间隙，来提升致密度，从而增加可靠性。