[发明专利]一种基于激光直写的金属氧化物微纳结构、其制备和应用在审

专利信息
申请号: 202011076055.2 申请日: 2020-10-10
公开(公告)号: CN112028013A 公开(公告)日: 2020-12-04
发明(设计)人: 罗为;熊伟;毛天立;龙婧;王莹琛;刘欢 申请(专利权)人: 华中科技大学
主分类号: B81C1/00 分类号: B81C1/00;B81B7/04
代理公司: 武汉华之喻知识产权代理有限公司 42267 代理人: 彭翠;曹葆青
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明属于激光应用技术领域,更具体地,涉及一种基于飞秒激光直写的金属氧化物微纳结构、其制备和应用。本发明首先将金属氧化物前驱体与溶剂混合制备得到金属氧化物前驱体溶胶凝胶,接着将该溶胶凝胶涂覆于衬底表面得到凝胶薄膜,进行飞秒激光直写,利用飞秒激光高峰值功率产生的能量使金属氧化物前驱体发生反应生成金属氧化物微纳结构。本发明通过飞秒激光直写技术直接实现金属氧化物微纳结构的制备,由于飞秒激光峰值功率高,可直接烧结出金属氧化物,不需要其他处理,方便快捷。适用于任意亲疏水基底,可实现高精度、跨尺度、高定向的任意金属氧化物微纳结构的制备。
搜索关键词: 一种 基于 激光 金属 氧化物 结构 制备 应用
【主权项】:
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