[发明专利]一种基于Z扫描的光束束腰半径测量方法及系统有效
| 申请号： | 202011058284.1 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN112197712B | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 张云峰;王春锐;邵俊峰;陈飞;郭劲 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/08 | 分类号： | G01B11/08;G01J1/42 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王雨 |
| 地址： | 130033 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于Z扫描的光束束腰半径测量方法及系统，使用Z扫描系统，首先控制样品沿测量光束的z轴移动，分别获得样品在不同的z轴位置时参考光束的能量以及测量光束透射过样品后的能量，分别为第一能量和第二能量，获得样品在各个z轴位置的透过率，进而根据各个z轴位置的位置数据以及样品在各个z轴位置的透过率获得测量光束束腰处的位置，并根据各个z轴位置的透过率进行拟合获得测量光束的束腰半径。本发明使用Z扫描系统本身实现测量光束束腰半径，与现有技术相比能够提高对光束束腰半径的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 扫描 光束 束腰 半径 测量方法 系统 | ||
【主权项】：
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