[发明专利]分析设备、分析方法、干涉测量系统和存储介质在审
| 申请号： | 202011037038.8 | 申请日： | 2020-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN112629434A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 松浦心平 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种分析设备、分析方法、干涉测量系统和存储介质。该分析设备(200)包括：获取部(210)，其从干涉测量设备获取基于参考面(132)和测量对象物体(10)的表面之间的多个光路长度的多个干涉图像；计算部(230)，其分别计算多个干涉图像中的各像素的干涉信号的正弦波分量和余弦波分量；误差检测部(240)，其检测基于各像素的正弦波分量和余弦波分量所构成的第一利萨如图形与理想的第二利萨如图形之间的误差；校正部(250)，其基于该误差来校正各像素的正弦波分量和余弦波分量；以及几何形状计算部(260)，其基于校正后的正弦波分量和余弦波分量来计算测量对象物体(10)的表面几何形状。 | ||
| 搜索关键词： | 分析 设备 方法 干涉 测量 系统 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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