[发明专利]一种垂直腔面发射激光器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202011034183.0 申请日: 2020-09-27
公开(公告)号: CN112217094A 公开(公告)日: 2021-01-12
发明(设计)人: 张一;沈志强 申请(专利权)人: 深圳博升光电科技有限公司
主分类号: H01S5/183 分类号: H01S5/183
代理公司: 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 代理人: 郭栋梁
地址: 518000 广东省深圳市南山区桃源街道福*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请公开了一种垂直腔面发射激光器及其制备方法,包括:第一反射层;活性层,被配置为具备量子阱;以及高对比度光栅层,被配置为与第一反射层形成谐振腔,活性层位于高对比度光栅层与第一反射层之间;其中,沿第一反射层的中心区域指向第一反射层的外边缘区域的方向,所述高对比度光栅层的折射率在二维方向上按预设规则变化,以对通过所述高对比度光栅层出射的激光进行整形。本申请通过设置在二维方向上折射率按预设规则的高对比度光栅结层,一方面简化上反射镜外延结构,降低了器件外延工艺及制备难度;另一方面可以对出射激光进行针对性整形和控制,无需后续的光路设计,具有使用方便、光束质量高、制备工艺简单等优点。
搜索关键词: 一种 垂直 发射 激光器 及其 制备 方法
【主权项】:
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