[发明专利]含镍感应材料的长波红外传感器、其制备方法及应用在审
| 申请号： | 202011023642.5 | 申请日： | 2020-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN114323296A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 王华;李宏;李嘉彦 | 申请（专利权）人： | 上海新微技术研发中心有限公司;上海桐钻光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20;G01V8/10;H01L31/0216;H01L31/09;H01L31/18 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 罗泳文 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种含镍感应材料的长波红外传感器、其制备方法及应用，传感器包括：衬底，衬底上形成有测试焊盘；导电桥墩，连接于衬底，导电桥墩通过位于衬底上的互连线连接测试焊盘；桥面，悬浮于衬底之上，桥面的两端由导电桥墩支撑；含镍材料电阻，位于桥面上，含镍材料电阻呈蜿蜒状延伸，含镍材料电阻的两端通过电极通孔及布线层连接导电桥墩，含镍材料电阻在长波红外传辐射下具有电阻值变化；碳纳米管，覆盖于含镍材料电阻及桥面上，用于吸收及增强经由被测物体发射的红外辐射。本发明通过在长波红外传感器设计配置含镍材料电阻，极大提高了传感器的感应单元对长波红外的能量敏感性，可有效解决辅助驾驶中长波红外信号获取的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 感应 材料 长波 红外传感器 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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