[发明专利]一种薄膜晶体管及其制备方法、显示基板、显示装置在审
申请号: | 202011014507.4 | 申请日: | 2020-09-24 |
公开(公告)号: | CN112117333A | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
发明(设计)人: | 马勇;李树磊;康昭 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L21/336;H01L29/10;H01L29/06;H01L27/12 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 解婷婷;曲鹏 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种薄膜晶体管及其制备方法、显示基板、显示装置。所述薄膜晶体管包括:衬底,设置在所述衬底上的取向层,设置在所述取向层远离所述衬底一侧的有源层,所述取向层包括至少一个可使所述有源层的分子定向排列的沟槽,或者,所述取向层的分子定向排列,在平行于所述衬底的平面上,所述有源层的正投影与所述取向层的正投影存在重叠部分。本实施例提供的方案,通过设置取向层,使得有源层分子定向排列,提高迁移率。 | ||
搜索关键词: | 一种 薄膜晶体管 及其 制备 方法 显示 显示装置 | ||
【主权项】:
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