[发明专利]一种可高效光控的太赫兹法诺谐振超构器件

摘要

本发明设计了一种具有强法诺谐振的太赫兹超构器件，且其强度可受低功率连续光调制。本发明器件结构简单，使用背边刻蚀高阻硅和SOI（绝缘衬底上的硅）的技术来获得薄的硅衬底，所用衬底其自身就用做光活性层，不需要额外的光活性材料，整体制备工艺匹配现有加工技术，可流程化，不受操作人员技术影响，良品率高。由于硅衬底内部的载流子可被高于其禁带宽度的光子激发，使得法诺谐振强度可以采用低功率连续光调制，不需要昂贵的飞秒脉冲源，可以容易获得90%的调制深度和0.6‑0.85的调制幅度，调制幅度是以往报道2‑3倍，本发明给有更高灵敏度追求的生化传感器开辟了新道路。