[发明专利]半色调掩模版、显示面板的制备方法及紫外掩膜版在审

专利信息
申请号: 202011009756.4 申请日: 2020-09-23
公开(公告)号: CN112180676A 公开(公告)日: 2021-01-05
发明(设计)人: 黄建龙 申请(专利权)人: 武汉华星光电技术有限公司
主分类号: G03F1/32 分类号: G03F1/32;G02F1/1333;G02F1/1339;H01L21/77
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 杨艇要
地址: 430079 湖北省武汉市*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明实施例公开了一种半色调掩模版、显示面板的制备方法及紫外掩膜版。所述半色调掩模版包括:衬底、遮光部分以及半透射部分,所述半透射部分对应于所述第一目标对象的减薄图案区域;以及对应于第二目标对象的镂空图案区域,通过半色调掩模版的半透射部分分别对应于第一目标对象的减薄图案区域和第二目标对象的镂空图案区域,从而使所述半色调掩模版在液晶显示面板的制作过程中,能够作为多种目标对象的光罩,达到节省光罩,节约制作成本的目的。
搜索关键词: 色调 模版 显示 面板 制备 方法 紫外 掩膜版
【主权项】:
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