[发明专利]测量光学元器件反射率与透射率的装置和方法在审
申请号: | 202011003266.3 | 申请日: | 2020-09-22 |
公开(公告)号: | CN112229605A | 公开(公告)日: | 2021-01-15 |
发明(设计)人: | 李大伟;胡晨璐;刘晓凤;赵元安;连亚飞;邵建达 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02;G01N21/55;G01N21/59 |
代理公司: | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人: | 张宁展 |
地址: | 201800 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种测量光学元器件反射率与透射率的装置和方法,包括锁相放大器、激光器、斩波器、楔形片、测试光路探测器、空测光路探测器微调平台、参考光路探测器、参考光路探测器微调平台、样品夹具及测试光路探测器微调平台。本发明方法可通过锁相放大器得到参考信号值、空测时参考光与测试光的信号差值以及有样品时参考光与测试光的信号差值,由此计算出光学元器件的反射率与透射率。本发明可有效实现对超高反射率与透射率光学元器件的测量,提高反射率和透射率的测量精度。 | ||
搜索关键词: | 测量 光学 元器件 反射率 透射率 装置 方法 | ||
【主权项】:
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