[发明专利]一种微小气体流量测量装置及方法有效
| 申请号： | 202010998643.5 | 申请日： | 2020-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN112146720B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 李增科;胡向宇;陈光锋;刘泽;王钦惠;崔梧玉 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01F13/00 | 分类号： | G01F13/00 |
| 代理公司： | 北京之于行知识产权代理有限公司 11767 | 代理人： | 吕晓蓉 |
| 地址： | 730013 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明涉及气体测量技术领域，尤其涉及一种微小气体流量测量装置及方法，包括储气罐、定容器、抽气泵、液面控制器、光栅检测装置以及步进电机伺服系统，其中：储气罐通过第一管路与定容器的进气口连通；抽气泵通过第二管路与定容器的出气口连通；液面控制器分别与抽气泵和光栅检测装置电连接；光栅检测装置和步进电机伺服系统共同配合记录定容器内液面的变化情况。本发明通过定容器内的液面变化，可以实现实时在线测量气体流量的功能，能够快速计算并记录气体流量的瞬态值，并且对电气动控制系统和液面检测系统采用联动式协调集中控制，自动化控制程度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微小 气体 流量 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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