[发明专利]防刮伤晶圆盒

摘要

本发明的实施例提供了一种防刮伤晶圆盒，涉及半导体设备技术领域，该防刮伤晶圆盒包括盒体、至少一组晶圆支撑架和至少一个光感测装置，盒体具有一供机械手臂伸入的开口；晶圆支撑架设置在盒体的侧壁上，且晶圆支撑架用于承载晶圆；光感测装置设置在盒体的侧壁上，其中，光感测装置用于在晶圆上方形成光帘，并在光帘受阻的情况下报警。当机械手臂高度异常时，会与光帘发生干涉，使得光帘受阻，而光感测装置能够在光帘受阻时报警，使得操作人员及时获知机械手臂高度异常情况并停机，有效避免了机械手臂刮伤晶圆，同时也避免了目视法视野不足而造成误判的情况。