[发明专利]一种线圈移动式PVT工艺高质量晶体制备装置及方法在审
| 申请号： | 202010974012.X | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN112095145A | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 曹徐婷 |
| 地址： | 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种PVT工艺高质量晶体制备装置及方法，属于晶体制备技术领域。本发明研发解决的是晶体生长过程中，无法满足晶体生长界面对温度和温度梯度等沉积条件的需要，不利于制备高质量单晶的问题。包括反应室、感应线圈、坩埚体、托板和升降电机，反应室的内部放置坩埚体，坩埚体的上盖部分放置有籽晶，坩埚体内装有反应原料，反应室的外部套装有感应线圈和托板，感应线圈安装在托板上，托板的下部与升降电机的驱动端连接，升降电机与框架固定连接。根据晶体不同的生长阶段，线圈可以进行移动，用于保证生长界面处温度及温度梯度相对不变，最大程度保持工艺条件稳定，有利于晶体的稳定生长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 线圈 移动式 pvt 工艺 质量 晶体 制备 装置 方法 | ||
【主权项】：
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