[发明专利]摩擦面上微纳结构的激光干涉诱导电解加工方法和装置

摘要

本发明公开了一种摩擦面上微纳结构的激光干涉诱导电解加工方法和装置，属于特种加工技术中的微细加工领域。本发明包括激光分束聚焦系统，电化学电解系统和运动控制系统，利用激光分束聚焦系统，将一束激光分成两束，再通过聚焦，将两束光在光斑处重叠，发生干涉效应，形成干涉光斑。干涉光斑的能量分布不均，也使得对应区域内的电解液温度和电导率分布不均，引起电化学电解速度不一致，从而刻蚀出一定几何特征的表面微纳结构，同时光斑能量的分布不均，引起电解液局部的冲击，诱导出超声振动，促进了刻蚀产物的排出，提高电解加工效率。运动控制系统控制工件的进给和旋转，实现不同形状、尺寸表面织构的加工。